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相对湿度（RH）对表面积累电荷的性能产生直接影响。相对湿度越高，零部件储存电荷的时间就越短，表面电荷减小（因为相对湿度增加）的方式可通过复合或传导，当相对湿度增加，空气的电导率也随之增加。但即使是在100%相对湿度时，电荷泄放速率的增加也不能取代适当的ESD控制操作规程。